蘇州氦檢漏儀器是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得普遍的檢漏儀器。下面小編就來和大家簡單的說說當(dāng)儀器內(nèi)部出現(xiàn)問題該怎么解決。
1.內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)，位于隔熱板的上方：
①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng)，此處容易造成密封膠開裂。
②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問題。
③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
2.定位方法采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：
①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。
②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。
③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3s，再等待約3s后觀測信號(hào)有無變化。
3.處理方法不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法。
①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購買新品進(jìn)行更換。
②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對(duì)密封圈進(jìn)行更換，并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會(huì)影響儀器本底)等密封添加劑。
③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項(xiàng)同上。
④真空計(jì)的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測時(shí)極易被忽視，此處若有漏可先進(jìn)行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購買新品進(jìn)行更換。
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